• Доступные пластины TAIKO
• Неконтактный перенос с использованием метода Бернулли
• Перенос без загрязнения (с использованием робота с двумя манипуляторами)
• Стабильное удаление благодаря использованию стержня и триггера, а также средства контроля краев
  (Триггер отслаивания и средство контроля краев: опция)
• Удаление с низким механическим напряжением за счет применения технологии частичного отслаивания
• Удобное управление с помощью сенсорной панели и функции Recipe
• Значок CE/SEMI S2/S8
• Возможность добавления SECS/GEM

Базовые спецификации

• *На данные спецификации влияет состояние пластины, ленты и другие условия. В некоторых случаях включена дополнительная функция.
  Если условия подходящие, допускается применение пластин, соответствующих спецификациям выше. Обращайтесь к нам за дополнительными сведениями.