Устройство для монтажа кристаллов на пластине (полностью автоматическое) NEL SYSTEM®

Это полностью автоматическое устройство для монтажа кристаллов на пластине, которое крепит ленту для разделения на заднюю сторону пластины / рамы для разделения и удаляет защитную ленту со структурированной поверхности пластины.

Полностью автоматическое устройство для монтажа кристаллов на пластине, 300 мм

FOUP/открытая кассета
Доступны тонкие полупроводниковые пластины
Доступна поточная линия (опция)
Компактность (наименьший размер в отрасли)
Повышенная эффективность удаления защитной ленты
Удобное управление с помощью сенсорной панели и функции Recipe
Стандартная функция ведения журнала
Возможность добавления сканера для составления карты годности кристаллов на пластине
Возможность добавления SECS/GEM
Значок CE/SEMI S2/S8

Доступный размер рамы:　300/200 мм
Доступные размеры пластин: 300/200 мм
Толщина пластины: 30 мкм и более (поточная линия),、50 мкм и более (для отдельной пластины)
Производительность:　Лента в роликах: 40 пластин/ч　　Предварительно порезанная лента: 45 пластин/ч

*На данные спецификации влияет состояние пластины, ленты и другие условия. В некоторых случаях включена дополнительная функция.
Если условия подходящие, допускается применение пластин, соответствующих спецификациям выше. Обращайтесь к нам за дополнительными сведениями.

Полностью автоматическое устройство для монтажа кристаллов на пластине, 200 мм

Возможно применение в различных сферах
DSC, Coin-stack
- Бесконтактный манипулятор, бесконтактный стол
- Удаление защитной ленты / УФ-излучение
- Монтаж панелей
MA2008IIR: для ленты в роликах
MA2008IIP: для предварительно разрезанной ленты
Удобное управление с помощью сенсорной панели и функции Recipe
Стандартная функция ведения журнала
Возможность добавления сканера для составления карты годности кристаллов на пластине
Возможность добавления SECS/GEM
Значок CE/SEMI S2/S8"

Доступный размер рамы: 8/6 дюймов
Размер пластины: 8/6/5/4 дюйма
Толщина пластины: 200 мкм или больше (контактный стол), 250 мкм или больше (неконтактный стол)
Производительность: MA2008IIR：75 пластин/ч MA2008IIP: 70 пластин/ч

*На данные спецификации влияет состояние пластины, ленты и другие условия. В некоторых случаях включена дополнительная функция.
Если условия подходящие, допускается применение пластин, соответствующих спецификациям выше. Обращайтесь к нам за дополнительными сведениями.