Устройство для повторного монтажа кристаллов на пластине (MA3000III+ модуль удаления рамы) Серия NEL SYSTEM®

Это полностью автоматическое устройство для повторного монтажа кристаллов на пластине (300 мм) сначала удаляет раму с помощью вспомогательной ленты, а затем устанавливает пластину в новой раме с помощью ленты для разделения полупроводниковых пластин и удаляет вспомогательную ленту с пластины.

Это устройство сначала удаляет раму с помощью вспомогательной ленты, а затем устанавливает пластину в новой раме с помощью ленты для разделения полупроводниковых пластин и удаляет вспомогательную ленту с пластины.

Модуль удаления рамы MA3000III+

Устройство для повторного монтажа кристаллов на пластине

«Полностью автоматическое устройство для повторного монтажа кристаллов на пластине 300 мм (модуль удаления рамы MA3000III+)»

Операционный поток

Характеристики

Доступны полупроводниковые пластины с интегральными структурами
Доступны тонкие полупроводниковые пластины
Доступен вариант в виде обычного устройства для монтажа на пластине
Робот для переноса пластин с функцией поворота
Удобное управление с помощью сенсорной панели и функции Recipe
Стандартная функция ведения журнала
Опция: сканер для составления карты годности кристаллов на пластине (для обычного устройства для монтажа)
Возможность добавления SECS/GEM
Значок CE/SEMI S2/S8

Базовые спецификации

Доступный размер рамы: 300 мм
Доступные размеры пластин: 300 мм
Толщина пластины: 100 мкм и более
Производительность:　Модуль удаления рамы: приблизительно 30 пластин/ч　MA3000III: Лента в роликах: 40 пластин/ч Листы: 45 пластин/ч

*На данные спецификации влияет состояние пластины, ленты и другие условия. В некоторых случаях включена дополнительная функция.
Если условия подходящие, допускается применение пластин, соответствующих спецификациям выше. Обращайтесь к нам за дополнительными сведениями.

Back to product category list Back to product detail list