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耐热背面研磨胶带

耐热性背面研磨胶带主要用于晶圆研磨后的特殊热加工工艺。

耐热性背面研磨胶带的作用相当于对晶圆背面进行二次加工。背面研磨处理后，可对贴有耐热性背面研磨胶带的晶圆进行加工（湿法腐蚀、灰化、金属化、曝光/加工等）。

特征

  • 良好的 TTV（总厚度波动）性能。
  • 晶圆背面加工时具有较高的耐热性。
  • 进行各种晶圆背面加工后，耐热性背面研磨胶带易于从晶圆表面剥离。

结构

应用

  • 用于电源设备、分离元件等晶圆背面的湿法腐蚀或金属化加工。
  • 用于 IGBT 等复杂的晶圆背面加工。
  • 用于其他需要一定热量的半导体加工。
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