UA3000Ⅱ
用于 300mm 晶圆的全自动紫外线辐照器
操作流程
特征
- 可用于 8""/6"" 的框架
- 自动计算紫外线辐照时间
- 具有 N2 净化功能
- 紫外线辐照之后检查标记印记
- 可通过触摸面板和食谱功能实现简易操作
- 日志文件功能标准设备
- 符合 CE mark / SEMI S2/S8" 规范要求
基本规格
- 可用框架尺寸：300 mm/200 mm
- 可用晶圆尺寸：300 mm/200 mm
- 吞吐量：60 晶圆/小时
UA8400
用于 200 mm 晶圆的全自动紫外线辐照器
操作流程
特征
- 可用于 8"/6" 框架
- 自动计算紫外线辐照时间
- 具有 N2 净化功能
- 紫外线辐照之后检查标记印记
- 可通过触摸面板和食谱功能实现简易操作
- 日志文件功能标准设备
- 符合 CE 标志 / SEMI S2/S8 规范要求
基本规格
- 可用框架尺寸：8 英寸 (in)/6 英寸 (in)
- 可用晶圆尺寸：8 英寸/6 英寸/5 英寸/4 英寸
- 吞吐量：100 晶圆/小时
UM810II
特征
- 配有紫外线辐照计时器（设定范围：0 - 999 秒）
- 具有 N2 净化功能
- 紫外线照度计（可选）
- 辐照面积扩大（相对于框架面积）（可选）
基本规格
- 可用框架尺寸：8 英寸 (in)/6 英寸 (in)
- 可用晶圆尺寸：8 英寸或以下
