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切割过程中所用的紫外线辐照器 NEL SYSTEM® Series

该设备可用于将紫外线辐照在晶圆背面的切割胶带上，以降低粘合强度。 我们具有一系列全自动型和半自动型粘贴器，可用于尺寸较大的晶圆。

UA3000Ⅱ

UA3000IIsemicon_backgrinding_img_icon_ce

用于 300 mm 晶圆的全自动紫外线辐照器

操作流程

特征

  • 可用于 8""/6"" 的框架
  • 自动计算紫外线辐照时间
  • 辐照面积扩大（相对于框架面积）
  • 具有 N2 净化功能
  • 紫外线辐照之后检查标记印记
  • 可通过触摸面板和配方功能实现简易操作
  • 日志文件功能标准设备
  • 符合 CE mark / SEMI S2/S8" 规范要求

基本规格

 
  • 可用框架尺寸：300 mm／200 mm
  • 可用晶圆尺寸：300 mm／200 mm
  • 吞吐量：60 晶圆/小时
  • * 上述规格受晶圆/胶带/其他条件影响，而且在几种情况下还包括选择功能。
    如果条件适合，也可使用超出上述规格的晶圆。 请与我们联系。

UA8400

UA8400semicon_backgrinding_img_icon_ce

用于 200 mm 晶圆的全自动紫外线辐照器

操作流程

特征

  • 可用于 8"/6" 框架
  • 自动计算紫外线辐照时间
  • 辐照面积扩大（相对于框架面积）
  • 具有 N2 净化功能
  • 紫外线辐照之后检查标记印记
  • 可通过触摸面板和食谱功能实现简易操作
  • 日志文件功能标准设备
  • 符合 CE 标志 / SEMI S2/S8 规范要求

基本规格

  • 可用框架尺寸：8 英寸 (in)／6 英寸 (in)
  • 可用晶圆尺寸：8/6/5/4 英寸 (in)
  • 吞吐量：TAIKO 晶圆：100 晶圆/小时
  • * 上述规格受晶圆/胶带/其他条件影响，而且在几种情况下还包括选择功能。
    如果条件适合，也可使用超出上述规格的晶圆。 请与我们联系。

UM810/UM110

UM810：用于 8" 晶圆的半自动紫外线辐照器
UM110：用于 6" 晶圆的半自动紫外线辐照器

操作流程

特征

  • 配有紫外线辐照计时器（设定范围： 0 - 999 sec.）
  • 具有 N2 净化功能
  • 紫外线照度计（可选）
  • 辐照面积扩大（相对于框架面积）（可选）

基本规格

  • 可用框架尺寸：UM810：8 英寸 (in)／6 英寸 (in)  UM110：6 英寸 (in)
  • 可用晶圆尺寸：UM810：8/6/5/4 英寸 (in)　UM110：6/5/4 英寸 (in)
  • * 上述规格受晶圆/胶带/其他条件影响，而且在几种情况下还包括选择功能。
    如果条件适合，也可使用超出上述规格的晶圆。 请与我们联系。
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华东区域：021-57745720（8:45～17:15）
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