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晶圆贴膜机(半自动) NEL SYSTEM®

这是一款半自动晶圆贴膜机,可将切割胶带粘贴在晶圆背面/切割框架上。

MSA300II

MA3000IIIsemicon_backgrinding_img_icon_ce

用于 300 mm 晶圆的半自动晶圆贴膜机(卷胶带)

操作流程

特征

  • 可用于粘贴 300mm 晶圆
  • 卷胶带专用
  • 工作台加热功能:
  • 触摸面板,便于操作
  • 符合 CE 标志 / SEMI S2/S8 规范要求

基本规格

  • 可用框架尺寸:300 mm/200 mm
  • 可用晶圆尺寸:300 mm/200 mm
  • 可用晶圆厚度:300 um 晶圆:200 um 或更厚(接触工作台)、250 um 或更厚(非接触工作台)、200 um 晶圆:200 um 或更厚(接触工作台)、250 um 或更厚(非接触工作台)
  • 吞吐量:应用 40 秒/晶圆
  • * 上述规格受晶圆/胶带/其他条件影响,而且在几种情况下还包括选择功能。
    如果条件适合,也可使用超出上述规格的晶圆。 请与我们联系。

MSA300PII

MSA300PIIsemicon_backgrinding_img_icon_ce

用于 300 mm 晶圆的半自动晶圆贴膜机(预切胶带)

操作流程

特征

  • 半自动 300 mm 晶圆贴膜机
  • 预切胶带专用
  • 具有 DAF
  • 工作台加热功能
  • 可通过触摸面板和食谱功能实现简易操作
  • 符合 CE 标志 / SEMI S2/S8 规范要求

基本规格

  • 可用框架尺寸:300 mm/200 mm
  • 可用晶圆尺寸:300 mm/200 mm
  • 可用晶圆厚度:300 um 晶圆:200 um 或更厚(接触工作台)、250 um 或更厚(非接触工作台)200 um 晶圆:200 um 或更厚(接触工作台)、250 um 或更厚(非接触工作台)
  • 吞吐量:应用 45 秒/晶圆
  • * 上述规格受晶圆/胶带/其他条件影响,而且在几种情况下还包括选择功能。
    如果条件适合,也可使用超出上述规格的晶圆。 请与我们联系。

MSA840II

MSA840IIsemicon_backgrinding_img_icon_ce

用于 200 mm 晶圆的半自动晶圆贴膜机(卷胶带)

操作流程

特征

  • 半自动 200 mm 晶圆贴膜机
  • 卷胶带专用
  • 工作台加热功能
  • 触摸面板,便于操作
  • 符合 CE 标志 / SEMI S2/S8 规范要求

基本规格

  • 可用框架尺寸:8 英寸 (in)/6 英寸 (in)
  • 可用晶圆尺寸:8/6/5/4 英寸 (in)
  • 可用晶圆厚度:200 um 或更厚(接触工作台)、250 um 或更厚(非接触工作台)
  • 吞吐量:应用 40 秒/晶圆
  • * 上述规格受晶圆/胶带/其他条件影响,而且在几种情况下还包括选择功能。
    如果条件适合,也可使用超出上述规格的晶圆。 请与我们联系。

MSA840P

MSA840Psemicon_backgrinding_img_icon_ce

用于 200 mm 晶圆的半自动晶圆贴膜机(预切胶带)

操作流程

特征

  • 半自动 200 mm 晶圆贴膜机
  • 预切胶带专用
  • 具有 DAF
  • 工作台加热功能
  • 可通过触摸面板和食谱功能实现简易操作
  • 符合 CE 标志 / SEMI S2/S8 规范要求

基本规格

  • 可用框架尺寸:8 英寸 (in)/6 英寸 (in)
  • 可用晶圆尺寸:8/6 英寸 (in)
  • 可用晶圆厚度:200 um 或更厚(接触工作台)、250 um 或更厚(非接触工作台)
  • 吞吐量:应用 45 秒/晶圆
  • * 上述规格受晶圆/胶带/其他条件影响,而且在几种情况下还包括选择功能。
    如果条件适合,也可使用超出上述规格的晶圆。 请与我们联系。

M286N/ M265N

M286N/M265N

M286N: 用于 8" 晶圆的半自动晶圆贴膜机
M265N: 用于 6" 晶圆的半自动晶圆贴膜机

操作流程

特征

  • M286N:可用于 8" 和 6" 框架
  • M265N:可用于 6" 框架
  • 添设静电消除器(可选)
  • 可用于面板配设(可选)

基本规格

  • 可用框架尺寸:M286N:8/6 英寸 (in)、M265N:6 英寸 (in)
  • 可用晶圆尺寸:M286N:8/6/5/4 英寸 (in)、M265N:6/5/4/3 英寸 (in)
  • 可用晶圆厚度:200 um(接触工作台)、250 um(非接触工作台)
  • 吞吐量:应用 30 秒/晶圆
  • * 上述规格受晶圆/胶带/其他条件影响,而且在几种情况下还包括选择功能。
    如果条件适合,也可使用超出上述规格的晶圆。 请与我们联系。

联系 (关于产品)

【产品技术支持中心】

华东区域:021-57745720(8:45~17:15)
华南区域:0755-88641173(8:45~17:30)
华北区域:010-85997468-121(8:45~17:30)
上述括号内为营业时间(北京时间)周六、周日和节假日除外

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