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晶圆再贴膜机(MA3000III +框架移除装置) NEL SYSTEM® series

这是一款用于 300 mm 晶圆的全自动再贴膜机,可先用支持胶带将框架从晶圆黏片框架上移除,然后再使用切割胶带将晶圆贴在新的框架上,最后将支持胶带从晶圆上剥离。

MA3000III +框架移除装置

晶圆再贴膜机semicon_backgrinding_img_icon_ce

“用于 300 mm 晶圆的全自动再贴膜机(MA3000III +框架移除装置)”

操作流程

特征

  • 可用于凸点晶圆
  • 可用于薄晶圆
  • 可作为常规晶圆贴膜机
  • 晶片传送机械具有自动翻转功能
  • 可通过触摸面板和配方功能实现简易操作
  • 日志文件功能标准设备
  • 可添设晶圆映射扫描仪(对于常规晶圆贴膜机)
  • 符合 SECS/GEM 标准
  • 符合 CE 标志 / SEMI S2/S8 规范要求

基本规格

  • 可用框架尺寸:300 mm
  • 可用晶圆尺寸:300 mm
  • 可用晶圆厚度:100 um 或更厚
  • 吞吐量:晶圆移除装置:应用 30 晶圆/小时 MA3000III: 卷胶带 40 晶圆/小时   预切胶带: 45 晶圆/小时
  • * 上述规格受晶圆/胶带/其他条件影响,而且在几种情况下还包括选择功能。
    如果条件适合,也可使用超出上述规格的晶圆。 请与我们联系。

联系 (关于产品)

【产品技术支持中心】

华东区域:021-57745720(8:45~17:15)
华南区域:0755-88641173(8:45~17:30)
华北区域:010-85997468-121(8:45~17:30)
上述括号内为营业时间(北京时间)周六、周日和节假日除外

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