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用於背面研磨處理的保護膠帶 NEL 系統™系列

在研磨處理過程中,本設備可將保護膠帶貼覆到晶圓線路表面。全自動型 & 半自動型機器產品線,並供應大尺寸晶圓。

nDR3000III

nDR3000IIIsemicon_backgrinding_img_icon_ce

300mm 晶圓全自動保護膠帶貼合器

操作流程

特點

  • 供應 FOUP / 開放卡式盒
  • 低張力貼覆 / 貼覆壓力控制
  • 可使用透過觸控面板 & 的配方功能,操作簡單
  • 日誌記錄功能標準設備
  • 膠帶鬆弛偵測功能
  • 遵照 CE 標章 & SEMI S2/S8 的相關規定
  • 可增加晶圓配對掃描功能
  • 可新增 SECS/GEM

基本規格

  • 可用晶圓尺寸:300mm/200mm
  • 可用晶圓厚度:400um 或更厚
  • 產能:68 秒/晶圓
  • ※ 上述規格值將受晶圓 / 膠帶 / 其他條件所影響,且在若干情況下包含選擇性功能。
    在條件適合的狀況下,上述晶圓規格適用。請與我們聯繫。

DR8500III

DR8500IIIsemicon_backgrinding_img_icon_ce

200mm 晶圓全自動保護膠帶貼敷器

操作流程

特點

  • 供應 8 吋 / 6 吋 / 5 吋晶圓
    4 吋晶圓處理功能(選擇性)
  • 低張力貼覆(RF 版本)
  • 可增加平台 / 滾輪加熱功能
  • 可透過觸控面板方便操作
  • 遵照 CE 標章的相關規定
  • 可新增 SECS/GEM

基本規格

  • 可用晶圓尺寸:8/6/5/4 吋
  • 可用的晶圓厚度:無背面磨光晶圓
  • 產能: 77 晶圓/小時 (RF 版本:68 晶圓/小時)
 
  • ※ 上述規格值將受晶圓 / 膠帶 / 其他條件所影響,且在若干情況下包含選擇性功能。
    在條件適合的狀況下,上述晶圓規格適用。請與我們聯繫。

DSA840II

DSA840IIsemicon_backgrinding_img_icon_ce

200mm 晶圓半自動保護膠帶貼敷器

操作流程

特點

  • 供應 8 吋 / 6 吋 / 5 吋 / 4 吋晶圓
  • 可以 1 個夾盤台處理 8- 4 吋晶圓
  • 可透過觸控面板方便操作
  • 遵照 CE 標章 / SEMI S2/S8 的相關規定

基本規格

  • 可用晶圓尺寸:8/6/5/4 吋
  • 可用的晶圓厚度:無背面磨光晶圓
  • 產能:約 50 秒 / 晶圓
 
  • ※ 上述規格值將受晶圓 / 膠帶 / 其他條件所影響,且在若干情況下包含選擇性功能。
    在條件適合的狀況下,上述晶圓規格適用。請與我們聯繫。

聯絡方式

上班時間 (台灣時間) 8:30-17:30
(星期六、星期日與例假日除外)

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上班時間 (台灣時間) 8:30-17:30
(星期六、星期日與例假日除外)