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用於切割製程的 UV 放射器 NEL 系統™系列

本設備會將 UV 光線照射到晶圓背面的裁切膠帶上，以降低黏著力。全自動型 & 半自動型機器產品線，並供應大尺寸晶圓。

UA3000Ⅲ

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300mm 晶圓全自動 UV 照射器

操作流程

特點

  • 供應 8 吋 / 6 吋 框
  • 自動計算 UV 照射時間
  • 照射區域擴張（至框區）
  • N2 淨化
  • UV 照射後核准標記
  • 可使用透過觸控面板 & 的配方功能，操作簡單
  • 日誌記錄功能標準設備
  • 遵照 CE 標章 / SEMI S2/S8" 的相關規定

基本規格

 
  • 可用框尺寸：300mm／200mm
  • 可用晶圓尺寸：300mm／200mm
  • 產能：60 晶圓 / 小時
  • * 上述規格值將受晶圓 / 膠帶 / 其他條件所影響，且在若干情況下包含選擇性功能。
    在條件適合的狀況下，上述晶圓規格適用。請與我們聯繫。

UA8400

UA8400semicon_backgrinding_img_icon_ce

200mm 晶圓全自動 UV 照射器

操作流程

特點

  • 供應 8 吋/6 吋 框
  • 自動計算 UV 照射時間
  • 照射區域擴張（至框區）
  • N2 淨化
  • UV 照射後核准標記
  • 可使用透過觸控面板 & 的配方功能，操作簡單
  • 日誌記錄功能標準設備
  • 遵照 CE 標章 / SEMI S2/S8 的相關規定

基本規格

  • 可用框尺寸：8 吋 / 6 吋
  • 可用晶圓尺寸：8/6/5/4 吋
  • 產能：TAIKO 晶圓：100 晶圓 / 小時
  • * 上述規格值將受晶圓 / 膠帶 / 其他條件所影響，且在若干情況下包含選擇性功能。
    在條件適合的狀況下，上述晶圓規格適用。請與我們聯繫。

UM810/UM110

UM810：8 吋晶圓半自動 UV 照射器
UM110：6 吋晶圓半自動 UV 照射器

操作流程

特點

  • 配備 VU 照射計時器（設定範圍：0 - 999 秒）
  • N2 淨化功能
  • UV 照明光度計（選擇性）
  • 照射區域擴張（至框區）（選擇性）

基本規格

  • 可用框尺寸：UM810：8 吋 / 6 吋 UM110：6 吋
  • 可用晶圓尺寸：UM810：8/6/5/4 吋 UM110：6/5/4 吋
  • * 上述規格值將受晶圓 / 膠帶 / 其他條件所影響，且在若干情況下包含選擇性功能。
    在條件適合的狀況下，上述晶圓規格適用。請與我們聯繫。
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