UA3000Ⅱ
300mm 웨이퍼용 전자동 UV 조사기
작업 흐름
특징
- 8""/6"" 프레임 사용가능
- UV 조사 시간 자동 계산
- N2 퍼지
- UV 조사 후 마크 스탬프 검사
- 터치 패널 & 레시피 기능에 의한 간단 조작
- 로그 파일 기능 표준 장비
- CE 마크/SEMI S2/S8" 준수
기본 사양
- 적용 가능한 프레임 크기: 300mm/200mm
- 적용 가능한 웨이퍼 크기: 300mm/200mm
- 처리량: 60개 웨이퍼/시간
UA8400
200mm 웨이퍼용 전자동 UV 조사기
작업 흐름
특징
- 8"/6" 프레임 사용가능
- UV 조사 시간 자동 계산
- N2 퍼지
- UV 조사 후 마크 스탬프 검사
- 터치 패널 & 레시피 기능에 의한 간단 조작
- 로그 파일 기능 표준 장비
- CE 마크/SEMI S2/S8 준수
기본 사양
- 적용 가능한 프레임 크기: 8 인치/6 인치
- 적용 가능한 웨이퍼 크기: 8 인치/6 인치/5 인치/4 인치
- 처리량: 100개 웨이퍼/시간
UM810Ⅱ
특징
- UV 조사 타이머 탑재(설정 범위: 0 - 999초)
- N2 퍼지 기능
- UV 조도계(옵션)
- 조사 영역 확장(프레임 영역으로) (옵션)
기본 사양
- 적용 가능한 프레임 크기: 8 인치/6 인치
- 적용 가능한 웨이퍼 크기: 8 인치 이하
