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다이싱 공정용 UV 조사기 NEL 시스템™ 시리즈

접착력을 감소시키기 위해 웨이퍼 이면의 다이싱 테이프에 UV 광선을 조사하는 장비입니다. 전자동 & 반자동 기계 제품군이 구비되어 있고, 대형 웨이퍼도 사용할 수 있습니다.

UA3000Ⅲ

UA3000Ⅲsemicon_backgrinding_img_icon_ce

300mm 웨이퍼용 전자동 UV 조사기

작업 흐름

특징

  • 8""/6"" 프레임 사용가능
  • UV 조사 시간 자동 계산
  • 조사 영역 확장(프레임 영역으로)
  • N2 퍼지
  • UV 조사 후 마크 스탬프 검사
  • 터치 패널 & 레시피 기능에 의한 간단 조작
  • 로그 파일 기능 표준 장비
  • CE 마크/SEMI S2/S8" 준수

기본 사양

 
  • 적용 가능한 프레임 크기：　300mm／200mm
  • 적용 가능한 웨이퍼 크기：　300mm／200mm
  • 처리량：　60개 웨이퍼/시간
  • *위 사양 값은 웨이퍼/테이프/기타 조건의 영향을 받으며, 몇몇 경우에 옵션 기능이 포함되기도 합니다.
    조건이 적절한 경우, 위 사양 이외의 웨이퍼에 적용할 수도 있습니다. 자세한 내용은 회사로 문의하십시오.

UA8400

UA8400semicon_backgrinding_img_icon_ce

200mm 웨이퍼용 전자동 UV 조사기

작업 흐름

특징

  • 8"/6" 프레임 사용가능
  • UV 조사 시간 자동 계산
  • 조사 영역 확장(프레임 영역으로)
  • N2 퍼지
  • UV 조사 후 마크 스탬프 검사
  • 터치 패널 & 레시피 기능에 의한 간단 조작
  • 로그 파일 기능 표준 장비
  • CE 마크/SEMI S2/S8 준수

기본 사양

  • 적용 가능한 프레임 크기：　8 인치/6 인치
  • 적용 가능한 웨이퍼 크기：　8/6/5/4 in
  • 처리량：　TAIKO 웨이퍼：100개 웨이퍼/시간
  • *위 사양 값은 웨이퍼/테이프/기타 조건의 영향을 받으며, 몇몇 경우에 옵션 기능이 포함되기도 합니다.
    조건이 적절한 경우, 위 사양 이외의 웨이퍼에 적용할 수도 있습니다. 자세한 내용은 회사로 문의하십시오.

UM810/UM110

UM810：　8" 웨이퍼용 반자동 UV 조사기
UM110：　6" 웨이퍼용 반자동 UV 조사기

작업 흐름

특징

  • UV 조사 타이머 탑재(설정 범위: 0 - 999초)
  • N2 퍼지 기능
  • UV 조도계(옵션)
  • 조사 영역 확장(프레임 영역으로) (옵션)

기본 사양

  • 적용 가능한 프레임 크기：　UM810：8 인치／6 인치 UM110：6 인치
  • 적용 가능한 웨이퍼 크기：　UM810：8/6/5/4 인치　UM110：6/5/4 인치
  • *위 사양 값은 웨이퍼/테이프/기타 조건의 영향을 받으며, 몇몇 경우에 옵션 기능이 포함되기도 합니다.
    조건이 적절한 경우, 위 사양 이외의 웨이퍼에 적용할 수도 있습니다. 자세한 내용은 회사로 문의하십시오.
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