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공기 필터용 불소수지 다공질 필름 TEMISH™ NTF9000 시리즈

TEMISH NTF9000 시리즈는 PTFE 다공성 멤브레인과 부직포를 결합한 공기 필터 미디어입니다. 압력 강하가 낮으면 수명 주기 비용이 낮아집니다. 반도체 산업에서는 집적도와 LCD 화면이 커지면서 보다 청정한 환경이 요구되고 따라서 고성능 공기 필터가 더욱 필요합니다.

특징

  • ULPA (Ultra Low Penetration Air, 초저 투과 공기) 등급, HEPA(High Efficiency Particulate Air, 고효율 미립자 공기) 등급 및 반 HEPA 등급을 사용할 수 있습니다.
  • 유리 섬유 필터 및 정전 필터와 비교해 압력 강하 및 집진 효율 간 균형이 뛰어납니다.
  • 산(불화수소산 등), 알칼리 및 유기용제 등에 대한 우수한 내화학성, 내습성, 방수성, 분진이형성.
  • 기계적인 진동이나 솔질로 분진을 쉽게 제거할 수 있습니다.
  • 유리 섬유 필터와 같이 자기 발진 특성이 없습니다.
  • 세척해도 성능이 저하되지 않습니다.
  • 붕소, 인 또는 불순물을 함유하지 않습니다.
  • 낮은 압력 강하 및 높은 집진 효율.

미디어 구성

제품 구성

ULPA 등급

항목 두께 [mm] 압력 강하 [Pa] 집진 효율 [%] 입자 지름 [μm]
NTF9535-U01 0.38 340 99.99999 또는 이상 0.1~0.2
NTF9522-U01 220 99.995 또는 이상
NTF9329-U16 0.32 290 99.99995 또는 이상
NTF9322-U15 220 99.9995 또는 이상
NTF9422-U03 0.28 220 99.995 또는 이상

HEPA 등급

항목 두께 [mm] 압력 강하 [Pa] 포집 효율 [%] 입자 지름 [μm]
NTF9314-H14 0.32 140 99.95 또는 이상 0.1~0.2
NTF9310-H13 100 99.5 또는 이상

준 HEPA 등급

항목 두께 [mm] 압력 강하 [Pa] 포집 효율 [%] 입자 지름 [μm]
NTF9307-L03 0.32 70 95 또는 이상 0.1~0.2

[비고]

  • *데이터는 보증된 성능이 아니라 대표 값을 나타냅니다.
  • *압력 강하, 포집 효율은 5.3cm/sec로 측정됩니다.
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