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Eliminador de cinta de protección para proceso de contra afilado Serie NEL SYSTEM®

Este equipo elimina la cinta de protección de la superficie con patrón de oblea has tras el proceso de contra afilado. Tipo completamente automático & Máquinas semiautomáticas que se alinean. También están disponibles obleas de gran tamaño.

HR3000III

HR3000IIIsemicon_backgrinding_img_icon_ce

Eliminador de cinta totalmente automático para obleas de 300 mm

Flujo de operaciones

Características

  • FOUP/cassette abierto disponible
  • Rendimiento estable de despegado mediante activador de separación
  • Despegado con baja tensión mediante control preciso de la barra de separación
  • Fácil funcionamiento mediante panel táctil & Función de fórmulas
  • Equipo estándar con función de archivo de registro
  • Se sigue la marca CE / SEMI S2/S8
  • Incorporación de escáner de emparejamiento de obleas disponible
  • Incorporación disponible de SECS/GEM

Especificaciones básicas

  • Tamaño de oblea aplicable: 300 mm/200 mm
  • Grosor de oblea aplicable: 100 μm o más
  • Producción: 60 obleas/h.
  • *Los valores por encima de las especificaciones dependerán de las obleas, las cintas y otras condiciones, y en diversos casos, se incluye la función opcional.
    En caso de que las condiciones sean apropiadas, también pueden ser aplicables las obleas que no se ajusten a las anteriores especificaciones. Por favor, póngase en contacto con nosotros.

HR8500III

HR8500IIIsemicon_backgrinding_img_icon_ce

Eliminador de cinta totalmente automático para obleas de 200 mm

Flujo de operaciones

Características

  • Obleas disponibles de 8"/6"/5"
    Manejo de oblea de 4" (opcional)
  • Función de calentamiento de tablas
  • Oblea fina disponible (versión TW)
  • Fácil funcionamiento mediante panel táctil
  • Se sigue la marca CE
  • Incorporación disponible de SECS/GEM

Especificaciones básicas

  • Tamaños de oblea disponibles: 8"/6"/5"/4"
  • Grosor de oblea aplicable: 250 μm o más, versión TW:150 μm o más
  • Producción: 85 obleas/h (Versión TW:68 obleas/h)
  • *Los valores por encima de las especificaciones dependerán de las obleas, las cintas y otras condiciones, y en diversos casos, se incluye la función opcional.
    En caso de que las condiciones sean apropiadas, también pueden ser aplicables las obleas que no se ajusten a las anteriores especificaciones. Por favor, póngase en contacto con nosotros.

HSA840II

HSA840semicon_backgrinding_img_icon_ce

Eliminador de cinta semiautomático para oblea de 200 mm

Flujo de operaciones

Características

  • Obleas disponibles de 8"/6"/5"/4"
  • Manejo disponible de obleas de 8"- 4" por 1 tabla
  • Fácil funcionamiento mediante panel táctil
  • Se sigue la marca CE / SEMI 2/S8"

Especificaciones básicas

  • Tamaños de oblea disponibles: 8"/6"/5"/4"
  • Grosor de oblea aplicable: 250 μm o más
  • Producción: aprox. 50 segundos/oblea
  • *Los valores por encima de las especificaciones dependerán de las obleas, las cintas y otras condiciones, y en diversos casos, se incluye la función opcional.
    En caso de que las condiciones sean apropiadas, también pueden ser aplicables las obleas que no se ajusten a las anteriores especificaciones. Por favor, póngase en contacto con nosotros.

RHSA840II

RHSA840IIsemicon_backgrinding_img_icon_ce

Eliminador de cinta semiautomático para oblea de 200 mm

Flujo de operaciones

Características

  • Despegado de la cinta de protección de marco con montaje de oblea
  • Obleas disponibles de 8"/6"/5"/4"
  • Marco de 8" disponible (marco de 6": opcional)
  • Manejo disponible de obleas de 8"- 4" por 1 tabla
  • Despegado de cinta de protección de la oblea independiente (opcional)
  • Fácil funcionamiento mediante panel táctil
  • Se sigue la marca CE & SEMI S2/S8

Especificaciones básicas

  • Tamaño de marco aplicable: 8 in”, (6”: opcional)
  • Tamaños de oblea disponibles: 8"/6"/5"/4"
  • Grosor de oblea aplicable: 100 μm o más, 250 μm o más (para obleas independientes)
  • Producción: 50 segundos/oblea
  • *Los valores por encima de las especificaciones dependerán de las obleas, las cintas y otras condiciones, y en diversos casos, se incluye la función opcional.
    En caso de que las condiciones sean apropiadas, también pueden ser aplicables las obleas que no se ajusten a las anteriores especificaciones. Por favor, póngase en contacto con nosotros.

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