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Aplicador de cinta protectora (con función de vacío y presión) Serie NEL SYSTEM®

Este equipo es un aplicador de cinta completamente automático que aplica cinta de protección (para proceso de contra afilado) a superficies con patrón de oblea de 300 mm en condiciones de vacío. También se incluye la función de presión mecánica.

Para las obleas con protuberancias, cóncavas o convexas, el rendimiento de aplicación de la cinta puede verse notablemente mejorado al utilizar la función de montaje al vacío y la función de presión mecánica.

DV3000

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Aplicador de cinta protectora completamente automático para obleas de 300 mm (con función de aplicación de vacío y presión)

Flujo de operaciones

Características

  • FOUP/cassette abierto disponible
  • La aplicación sin vacío en la oblea del depósito se puede realizar mediante la aplicación de presión diferencial/presión de placa plana
  • Fácil funcionamiento mediante panel táctil & Función de fórmulas
  • Equipo estándar con función de archivo de registro
  • Se sigue la marca CE / SEMI S2/S8
  • Incorporación de escáner de emparejamiento de obleas disponible
  • Incorporación disponible de SECS/GEM

Especificaciones básicas

  • Tamaño de marco aplicable: 300 mm
  • Tamaño de oblea aplicable: 300 mm
  • Grosor de oblea aplicable: 775 μm
  • Producción: 45 obleas/h.
  • *Los valores por encima de las especificaciones dependerán de las obleas, las cintas y otras condiciones, y en diversos casos, se incluye la función opcional.
    En caso de que las condiciones sean apropiadas, también pueden ser aplicables las obleas que no se ajusten a las anteriores especificaciones. Por favor, póngase en contacto con nosotros.

Aplicaciones

  • Laminación de cinta del contra afilado para obleas con relieve. (P. ej., FC-BGA, etc.)
  • Laminación de cinta del contra afilado para obleas con superficies irregulares. (P. ej., (IGBT, etc.)

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