Saltar a Texto Principal

Eliminador de cinta de protección para oblea TAIKO® Serie NEL SYSTEM®

Este equipo es un eliminador de cinta de tipo totalmente automático y retira la cinta de protección (para el proceso de contra afilado) para la superficie con patrón de obleas TAIKO.

HR9000

HR9000semicon_backgrinding_img_icon_ce

Eliminador totalmente automático para obleas TAIKO de 200 mm

Flujo de operaciones

Características

  • Oblea TAIKO disponible
  • Transferencia sin contacto mediante método Bernoulli
  • Transferencia con menos contaminación (empleando robot con brazo dual)
  • Rendimiento estable de despegado mediante barra de separación, activador de separación, mantenedor de bordes
    (Activador de despegado y mantenedor de bordes: opcional)
  • Despegado con baja tensión mediante separación de la cinta aplicando
  • Fácil funcionamiento mediante panel táctil & Función de fórmulas
  • Se sigue la marca CE / SEMI S2/S8
  • Incorporación disponible de SECS/GEM

Especificaciones básicas

  • Tamaño de oblea disponible: 8"/6"
  • Grosor de oblea aplicable: Oblea TAIKO:50 μm o más,
    Oblea normal: 150 μm o más
  • Producción: Oblea TAIKO; 30 obleas/h
    Oblea normal: 50  obleas/h
  • *Los valores por encima de las especificaciones dependerán de las obleas, las cintas y otras condiciones, y en diversos casos, se incluye la función opcional.
    En caso de que las condiciones sean apropiadas, también pueden ser aplicables las obleas que no se ajusten a las anteriores especificaciones. Por favor, póngase en contacto con nosotros.

Contact Us

TEL +34-93-473-1709

Business Hours (WET) 8:00h-17:00h Except for Sat, Sun, and Holidays

Search by other product categories

Contact Us

TEL +34-93-473-1709
Business Hours (WET) 8:00h-17:00h
Except for Sat, Sun, and Holidays