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Montador de obleas (tipo totalmente automático) NEL SYSTEM®

Este equipo es un montador de obleas de tipo totalmente automático, aplica la cinta de corte sobre el marco de corte/parte posterior de la oblea y elimina la cinta de protección de la superficie con patrón de obleas.

MA3000III

MA3000IIIsemicon_backgrinding_img_icon_ce

Montador totalmente automático para obleas de 300 mm

Flujo de operaciones

Características

  • FOUP/cassette abierto disponible
  • Oblea fina disponible
  • Sistema en línea disponible (opcional)
  • Reducida presencia (más pequeña del sector)
  • Mejor rendimiento de despegado de la cinta de protección
  • Fácil funcionamiento mediante panel táctil & Función de fórmulas
  • Equipo estándar con función de archivo de registro
  • Incorporación de escáner de emparejamiento de obleas disponible
  • Incorporación disponible de SECS/GEM
  • Se sigue la marca CE / SEMI S2/S8

Especificaciones básicas

  • Tamaño de marco aplicable: 300 mm/200 mm
  • Tamaño de oblea aplicable: 300 mm/200 mm
  • Grosor de oblea aplicable: 30 μm o más (sistema en línea), 50 μm o más (independiente)
  • Producción: Cinta de rollo: 40 obleas/hora.  Cinta precortada: 45 obleas/h
  • *Los valores por encima de las especificaciones dependerán de las obleas, las cintas y otras condiciones, y en diversos casos, se incluye la función opcional.
    En caso de que las condiciones sean apropiadas, también pueden ser aplicables las obleas que no se ajusten a las anteriores especificaciones. Por favor, póngase en contacto con nosotros.

MA2008IIR/ MA2008IIP

MA2008IIR/ MA2008IIPsemicon_backgrinding_img_icon_ce

Montador totalmente automático para obleas de 200 mm

Flujo de operaciones

Características

  • Disponible con combinación de diversas aplicaciones:
  • DSC, apilado de monedas
    • Brazo sin contacto, tabla sin contacto
    • Separación de cinta de protección / irradiación UV
    • Montaje en panel
  • MA2008IIR: para cinta de rollo
  • MA2008IIP: para cinta precortada
  • Fácil funcionamiento mediante panel táctil & Función de fórmulas
  • Equipo estándar con función de archivo de registro
  • Incorporación de escáner de emparejamiento de obleas disponible
  • Incorporación disponible de SECS/GEM
  • Se sigue la marca CE / SEMI 2/S8"

Especificaciones básicas

  • Tamaño de marco aplicable: 8"/6"
  • Tamaños de oblea disponibles: 8"/6"/5"/4"
  • Grosor de oblea aplicable:200 μm o más (Tabla de contacto), 250 μm o más (Tabla sin contacto)
  • Producción: MA2008IIR: 75 obleas/h MA2008IIP:70 obleas/h
  • *Los valores por encima de las especificaciones dependerán de las obleas, las cintas y otras condiciones, y en diversos casos, se incluye la función opcional.
  • En caso de que las condiciones sean apropiadas, también pueden ser aplicables las obleas que no se ajusten a las anteriores especificaciones. Por favor, póngase en contacto con nosotros.

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