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Montador de oblea al vacío Serie NEL SYSTEM®

Este equipo es un montador de obleas en condiciones de vacío. Tipo completamente automático & Máquinas semiautomáticas que se alinean. También están disponibles obleas de gran tamaño.

MA2008IIV

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Montador totalmente automático de obleas al vacío para obleas de 200 mm

Flujo de operaciones

Características

  • Disponible con combinación de diversas aplicaciones:
    • DSC, apilado de monedas
    • Brazo sin contacto, tabla sin contacto
    • Separación de cinta de protección / irradiación UV
    • Montaje en panel
  • Disponible con montaje al vacío y montaje normal
  • Oblea TAIKO disponible
  • Fácil funcionamiento mediante panel táctil & Función de fórmulas
  • Equipo estándar con función de archivo de registro
  • Incorporación de escáner de emparejamiento de obleas disponible
  • Incorporación disponible de SECS/GEM
  • Se sigue la marca CE / SEMI S2/S8

Especificaciones básicas

  • Tamaño de marco aplicable: 8"/6"
  • Tamaños de oblea disponibles: 8"/6"/5"/4"
  • Grosor de oblea aplicable: Oblea TAIKO:50 μm o más  Oblea normal: 200 μm o más (Tabla de contacto), 250 μm o más (Tabla sin contacto)
  • Producción: Oblea TAIKO: 35 obleas/h   Oblea normal: 40 obleas/h
  • *Los valores por encima de las especificaciones dependerán de las obleas, las cintas y otras condiciones, y en diversos casos, se incluye la función opcional.
    En caso de que las condiciones sean apropiadas, también pueden ser aplicables las obleas que no se ajusten a las anteriores especificaciones. Por favor, póngase en contacto con nosotros.

MSA840VIII

MSA840VIII

Montador semiautomático de obleas al vacío para obleas de 200 mm

Flujo de operaciones

Características

  • Montador de obleas al vacío de 200 mm de tipo semiautomático
  • La aplicación sin vacío en la oblea del depósito se puede realizar mediante la aplicación de presión diferencial/presión de placa plana
  • Función de calentamiento de tablas (Temperatura de configuración máxima: 120 °C)
  • Disponible en tabla sin contacto
  • DCT/NCF 2 en 1 disponible

Especificaciones básicas

  • Tamaño de marco aplicable: 8"/6"
  • Tamaños de oblea disponibles: 8"/6"/5"/4"
  • Grosor de oblea aplicable:Oblea TAIKO:50 μm o más  Oblea normal:200 μm o más (Tabla de contacto), 250 μm o más (Tabla sin contacto)
  • Producción:
    Montaje en vacío:  Oblea TAIKO: Aprox. 100 segundos/oblea
    Oblea normal: Aprox. 90 segundos/oblea
    Montaje en la atmósfera:  Aprox. 40 segundos/oblea
  • *Los valores por encima de las especificaciones dependerán de las obleas, las cintas y otras condiciones, y en diversos casos, se incluye la función opcional.
    En caso de que las condiciones sean apropiadas, también pueden ser aplicables las obleas que no se ajusten a las anteriores especificaciones. Por favor, póngase en contacto con nosotros.

MSV300

MSV300 (Fase de diseño)

Montador semiautomático de obleas al vacío para obleas de 300 mm

Flujo de operaciones

Características

  • Montador de obleas al vacío de 300 mm de tipo semiautomático
  • La aplicación sin vacío en la oblea del depósito se puede realizar mediante la aplicación de presión diferencial/presión de placa plana

Especificaciones básicas

Las especificaciones detalladas se están diseñando.

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