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Irradiador ultravioleta para proceso de corte en cuadraditos Serie NEL SYSTEM®

Este equipo irradió luz ultravioleta en la cinta de corte en cuadraditos de la parte posterior de la oblea para reducir la fuerza de adhesión. Tipo completamente automático & Máquinas semiautomáticas que se alinean. También están disponibles obleas de gran tamaño.

UA3000 Ⅲ

UA3000 Ⅲsemicon_backgrinding_img_icon_ce

Irradiador UV completamente automático para obleas de 300 mm

Flujo de operaciones

Características

  • marcos disponibles de 8"/6"
  • Cálculo automático del tiempo de irradiación UV
  • Extensión del área de irradiación (a zona del marco)
  • Purgado N2
  • Verificar el sello de marca después de la irradiación ultravioleta
  • Fácil funcionamiento mediante panel táctil & Función de fórmulas
  • Equipo estándar con función de archivo de registro
  • Se sigue la marca CE / SEMI 2/S8"

Especificaciones básicas

 
  • Tamaño de marco aplicable: 300 mm/200 mm
  • Tamaño de oblea aplicable： 300 mm/200 mm
  • Producción: 60 obleas/h.
  • *Los valores por encima de las especificaciones dependerán de las obleas, las cintas y otras condiciones, y en diversos casos, se incluye la función opcional.
    En caso de que las condiciones sean apropiadas, también pueden ser aplicables las obleas que no se ajusten a las anteriores especificaciones. Por favor, póngase en contacto con nosotros.

UA8400

UA8400semicon_backgrinding_img_icon_ce

Irradiador UV completamente automático para obleas de 200 mm

Flujo de operaciones

Características

  • marcos disponibles de 8"/6"
  • Cálculo automático del tiempo de irradiación UV
  • Extensión del área de irradiación (a zona del marco)
  • Purgado N2
  • Verificar el sello de marca después de la irradiación ultravioleta
  • Fácil funcionamiento mediante panel táctil & Función de fórmulas
  • Equipo estándar con función de archivo de registro
  • Se sigue la marca CE / SEMI S2/S8

Especificaciones básicas

  • Tamaño de marco aplicable: 8"/6"
  • Tamaños de oblea disponibles：　8"/6"/5"/4"
  • Producción： Oblea TAIKO; 100 obleas/h
  • *Los valores por encima de las especificaciones dependerán de las obleas, las cintas y otras condiciones, y en diversos casos, se incluye la función opcional.
    En caso de que las condiciones sean apropiadas, también pueden ser aplicables las obleas que no se ajusten a las anteriores especificaciones. Por favor, póngase en contacto con nosotros.

UM810/UM110

UM810： Irradiador UV semiautomático para obleas de 8"
UM110： Irradiador UV semiautomático para obleas de 6"

Flujo de operaciones

Características

  • Irradiador UV equipado con temporizador (Rango de configuración: 0 - 999 seg.)
  • Función de purgado N2
  • Medidor de luminosidad UV (opcional)
  • Extensión del área de irradiación (a zona del marco) (opcional)

Especificaciones básicas

  • Tamaño de marco aplicable: UM810：8"/6", UM110：6"
  • Tamaño de oblea aplicable: UM810：8"/6"/5"/4", UM110：6"/5"/4"
  • *Los valores por encima de las especificaciones dependerán de las obleas, las cintas y otras condiciones, y en diversos casos, se incluye la función opcional.
    En caso de que las condiciones sean apropiadas, también pueden ser aplicables las obleas que no se ajusten a las anteriores especificaciones. Por favor, póngase en contacto con nosotros.
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