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Remontador de obleas (MA3000III + Unidad de extracción de marcos) Serie NEL SYSTEM®

Este equipo es un equipo remontador de obleas completamente automático para obleas de 300 mm. Primero, retira el marco del marco de oblea con cinta; después, monta la oblea en el marco nuevo con cinta de corte; por último, retira la cinta de la oblea

Primero, retira el marco de montaje de obleas con cinta; después, monta la oblea en el marco nuevo con cinta de corte; por último, retira la cinta de la oblea

MA3000III + Unidad de extracción de marcos

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«Remontador de obleas completamente automático para obleas de 300 mm (MA3000III + Unidad de extracción de marcos)»

Flujo de operaciones

Características

  • Oblea con relieve disponible
  • Oblea fina disponible
  • Disponible como montador de obleas normal
  • Robot de transferencia de obleas con función de giro
  • Fácil funcionamiento mediante panel táctil & Función de fórmulas
  • Equipo estándar con función de archivo de registro
  • Incorporación de escáner de emparejamiento de obleas disponible (para el montador de obleas normal)
  • Incorporación disponible de SECS/GEM
  • Se sigue la marca CE / SEMI S2/S8

Especificaciones básicas

  • Tamaño de marco aplicable: 300 mm
  • Tamaño de oblea aplicable: 300 mm
  • Grosor de oblea aplicable: 100 μm o más
  • Producción: Unidad de extracción de marcos: Aprox. 30 obleas/hr. MA3000III: Cinta de rollo: 40 obleas/hr.   Cinta precortada: 45 obleas/h
  • *Los valores por encima de las especificaciones dependerán de las obleas, las cintas y otras condiciones, y en diversos casos, se incluye la función opcional.
    En caso de que las condiciones sean apropiadas, también pueden ser aplicables las obleas que no se ajusten a las anteriores especificaciones. Por favor, póngase en contacto con nosotros.

Applications

  • The process of re-mounting to another dicing tape for TSV and CoW (Chip on Wafer).

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