Silisyum Pul Tutucu Tablası için Temizlik Malzemesi Cleaning Wafer™

Temizleme Silisyum Pulu, yarı iletken üretme ekipmanlarının robot kollarındaki veya tutma tablalarındaki küçük partikülleri temizlemek içindir.

Özel bir temizlik katmanına sahip olan Temizleme Silisyum Pulu, yarı iletken üretme ekipmanlarındaki küçük partikülleri temizleyebilir. Temizleme silisyum pulu kullanılarak aletlerin duruş süresi olağan elle temizleme yöntemine kıyasla önemli ölçüde azaltılabilir. Temizleme silisyum pulu önleyici bakım için de kullanılabilir, böylece verimde iyileşme beklenebilir.

Özellikler
Yapı/Spesifikasyon
Uygulamalar/Referans

Özellikler

Temizleme silisyum pulu, mükemmel temizlik performansı ve kararlı transfer performansı sağlayan özel bir temizlik katmanına sahiptir.
Yüksek elastik modüllü özel bir partikül temizleme katmanı kullanır ve tutma tablasını kirletmez.
Vakum haznesinde partikül temizliği yüzünden çalışılmayan sürenin azalması beklenebilir.
Temizleme silisyum pulu kullanılarak temizlik işlemi çok basit ve kolaydır.
Geniş bir boyun aralığındaki partiküller yakalanabilir.

Yapı/Spesifikasyon

Öge	CW1000
Yapı
Toplam Kalınlık	720～900 (μｍ)
Yüzey Sertliği	500Mpa (22°C)
Çalışma Sıcaklığı	-20～50℃ ※1
Boyut	6 inç: Yönlendirilmiş Düz 8/12 inç: V-çentik
Partikül Tipi	Si, Metal (Organik)
Partikül Boyutu	0,2 μm ve üzeri (Ölçülen Değer)

※1 Çalışma sıcaklığı 50 °C’den yüksekse lütfen bize danışın .

Uygulamalar/Referans

	Ekipman	Etki
	Kuru Dağlama	Soğutma helyum gazını stabilize edin
	Kuru Dağlama	Bakım süresini kısaltın
	Prob cihazı	Düzenli bakım sıklığını azaltın
	Litografi	Vakum hatasını azaltın
		Odak hatasını azaltın
		Bakım süresini kısaltın
	İyon uygulaması	Düzenli bakım sıklığını azaltın
	Cihazların tipleri	Hedef
	Bellek/Mantık	Kuru dağlayıcı, Litografi, Kademeleyici
	Güç cihazı	Kademeleyici, Prob cihazı
	Saw/Baw filtresi	Kuru dağlayıcı, Sıçratmalı
	MEMS	Kuru dağlayıcı

Çalışılmayan Sürenin İyileştirilmesi

CW1000 kullanılarak, atmosfere açık olan normal hazne temizliğine kıyasla çalışılmayan süre kısaltılabilir.
※Açık atmosfer temizliğinden önceki süreyi uzatabilir.