Vakuum-Wafer-Mounter Serie NEL SYSTEM®

Bei diesem Gerät handelt es sich um einen Wafer-Mounter unter Vakuumbedingungen. Vollautomatische und halbautomatische Maschinen sind Teil des Angebots, und auch große Wafer stehen zur Verfügung.

Vollautomatischer Vakuum-Wafer-Mounter für 200-mm-Wafer

Es steht eine Kombination verschiedener Anwendungen zur Verfügung:
- DSC, Coin-Stapel
- Nichtkontaktarm, Nichtkontakttisch
- Schutzbandablösung/UV-Bestrahlung
- Panelbefestigung
Vakuumbefestigung und normale Befestigung verfügbar
TAIKO-Wafer verfügbar
Einfacher Betrieb über Touchpanel und Rezepturfunktion
Protokolldateifunktion für Standardgeräte
Hinzufügen von Wafer-Mapping-Scanner verfügbar
Hinzufügen von SECS/GEM verfügbar
Einhaltung der CE-Kennzeichnung / SEMI S2/S8

Zulässige Rahmengröße：　8 Zoll/6 Zoll
Zulässige Wafer-Größe：　8/6/5/4 Zoll
Zulässige Wafer-Dicke：　TAIKO-Wafer：50 µm oder mehr Normaler Wafer: 200 µm oder mehr (mit Kontak), 250 µm oder mehr (ohne Kontakt)
Durchsatz：　TAIKO-Wafer：35 Wafer/h Normaler Wafer: 40 Wafer/h

*Die oben angegebenen Werte hängen von den Konditionen von Wafer, Klebeband und anderem ab, und in vielen Fällen ist die Optionsfunktion inbegriffen.
Bei entsprechenden Konditionen könnte es zu Wafern außerhalb der oberen Spezifikationen kommen. Bitte kontaktieren Sie uns.

Halbautomatischer Vakuum-Wafer-Mounter für 200-mm-Wafer

Halbautomatischer 200-mm-Vakuum-Wafer-Mounter
Luftblasenfreie Anbringung auf Bump-Wafer über Anwendung von Differenzdruck/Flachplattenpressung
Tischheizfunktion (max. Einstelltemperatur: 120 °C)
Nichtkontakttisch verfügbar
DCT/NCF 2in1 verfügbar

Zulässige Rahmengröße：　8 Zoll/6 Zoll
Zulässige Wafer-Größe：　8/6/5/4 Zoll
Zulässige Wafer-Dicke: TAIKO-Wafer: 50 µm oder mehr Normaler Wafer 200 µm oder mehr (Kontakttisch), 250 µm oder mehr (Nichtkontakttisch)
Durchsatz:
Mounten unter Vakuum: TAIKO-Wafer: Anw. 100 s/Wafer
Normaler Wafer: Anw. 90 s/Wafer
Mounten in Atmosphäre: Anw. 40 s/Wafer

*Die oben angegebenen Werte hängen von den Konditionen von Wafer, Klebeband und anderem ab, und in vielen Fällen ist die Optionsfunktion inbegriffen.
Bei entsprechenden Konditionen könnte es zu Wafern außerhalb der oberen Spezifikationen kommen. Bitte kontaktieren Sie uns.