バックグラインド用の保護テープをウェハパターン面に貼り付ける、保護テープ貼り付け機です。フルオートタイプおよびセミオートタイプを揃えています。ウェハの大型化にも対応します。

バックグラインド用の保護テープをTAIKO™ウェハのパターン面からはく離する、フルオートタイプの保護テープはく離機です。

バックグラインド用の保護テープをウェハパターン面に真空下で貼り付け、平板プレス機構も併せ持つ300mmウェハに対応したフルオートタイプの保護テープ貼り付け機です。

バックグラインド用の保護テープをウェハパターン面からはく離する、保護テープはく離機です。フルオートタイプおよびセミオートタイプを揃えています。ウェハの大型化にも対応します。