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ダイシング工程用UV照射装置 NEL SYSTEM™シリーズ

ウェハ裏面に貼り付けられたダイシングテープへUVを照射し粘着力を低下させる、UV照射機です。フルオートタイプおよびセミオートタイプを揃えています。

UA3000Ⅲ
UA8400
UM810/UM110

UA3000Ⅲ

UA3000Ⅲ

300mmウェハ対応フルオートUV照射機

オペレーションフロー

特長

300mm/20mm用フレーム対応
UV照射時間自動計算機能
照射範囲拡大機能（フレームエリアまで拡大）
N₂パージ
照射確認マ－キング機能
タッチパネルによる簡易操作、運転条件レシピ設定／選択機能
稼働管理標準装備
CEマーキング／SEMI S2/S8準拠

基本仕様

適用フレームサイズ：　300mm／200mm
適用ウェハサイズ：　300mm／200mm
処理能力：　60枚/hr.

※上記仕様値は、ワーク／テープ／その他条件により影響を受けます。
オプション機能を含んでいる場合もあります。
また、上記仕様値外でも条件によっては適用できる可能性がありますので、詳細はお問い合わせください。

UA8400

UA8400

200mmウェハ対応フルオートUV照射機

オペレーションフロー

特長

8"/6"用フレーム対応
UV照射時間自動計算機能
照射範囲拡大機能（フレームエリアまで拡大）
N₂パージ
照射確認マ－キング機能
タッチパネルによる簡易操作、運転条件レシピ設定／選択機能
稼働管理標準装備
CEマーキング／SEMI S2/S8準拠

基本仕様

適用フレームサイズ：　8インチ／6インチ
適用ウェハサイズ：　8/6/5/4インチ
処理能力：　TAIKOウェハ：100枚/hr.

※上記仕様値は、ワーク／テープ／その他条件により影響を受けます。
オプション機能を含んでいる場合もあります。
また、上記仕様値外でも条件によっては適用できる可能性がありますので、詳細はお問い合わせください。

UM810/UM110

UM810：　200mmウェハ対応セミオートUV照射機
UM110：　6"ウェハ対応セミオートUV照射機

オペレーションフロー

特長

照射時間設定タイマー付（設定範囲： 0 - 999秒）
N₂ パージ機能
照度計装備(オプション)
照射範囲拡大（フレームエリアまで拡大可能）（オプション）

基本仕様

適用フレームサイズ：　UM810：8ｲﾝﾁ／6インチ　UM110：6インチ
適用ウェハサイズ：　UM810：8/6/5/4インチ　UM110：6/5/4インチ

※上記仕様値は、ワーク／テープ／その他条件により影響を受けます。
オプション機能を含んでいる場合もあります。
また、上記仕様値外でも条件によっては適用できる可能性がありますので、詳細はお問い合わせください。

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