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ウェハマウンター NEL SYSTEM™ (フルオートタイプ)
タイシング用テープをウェハ裏面およびフレームに貼り付け、パターン面からの保護テープはく離機能も有する、フルオートタイプのマウンタです。
MA3000III
MA3000III
300mmウェハ対応フルオートマウンタ
オペレーションフロー
特長
- FOUP/オープンカセット対応
- 薄ウェハ対応
- インラインシステム対応可能
- 小スペース（業界最小クラス）
- 充実した保護テープはく離機能
- タッチパネルによる簡易操作、運転条件レシピ設定／選択機能
- 稼働管理標準装備
- ウェハマッピングスキャナ搭載可能
- SECS/GEM機能搭載可能
- CEマーキング／SEMI S2/S8準拠
基本仕様
- 適用フレームサイズ： 300mm／200mm
- 適用ウェハサイズ： 300mm／200mm
- 適用ウェハ厚さ： 30um以上（インライン）、50um以上（スタンドアローン）
- 処理能力： ロールテープ：40枚/hr. プリカットテープ：45枚/hr.
MA2008IIR/ MA2008IIP
MA2008IIR／MA2008IIP
200mmウェハ対応フルオートマウンタ
オペレーションフロー
特長
- 多彩なオプションの組み合わせで多様なニーズに対応
- DSC、コインスタック
- 非接触アーム、非接触テーブル
- 保護テープはく離機能／UV照射機能
- 基板マウント
- MA2008IIR： ロールテープ対応
- MA2008IIP： プリカットテープ対応
- タッチパネルによる簡易操作、運転条件レシピ設定／選択機能
- 稼働管理標準装備
- ウェハマッピングスキャナ搭載可能
- SECS/GEM機能搭載可能
- CEマーキング／SEMI S2/S8準拠
基本仕様
- 適用フレームサイズ： 8インチ／6インチ
- 適用ウェハサイズ： 8／6／5／4インチ
- 適用ウェハ厚さ： 200um以上（接触テーブル）、250um以上（非接触テーブル）
- 処理能力： MA2008IIR：75枚/hr. MA2008IIP：70枚/hr.
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